МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ

Тихий А. А.; Николаенко Ю. М.; Корнеевец А. С.; Свиридова Е. А.; Жихарева Ю. И.; Жихарев И. В.

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ

Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Корнеевец А. С., Свиридова Е. А., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В.

2019

Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.

Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Корнеевец А. С., Свиридова Е. А., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ. Журнал прикладной спектроскопии. 2019;86(6):942-946.

Цитирование

Список литературы

1. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986)

2. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829—847

3. Б. В. Беляев, В. А. Грицких, И. В. Жихарев, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, А. А. Тихий. Сб. докл. междунар. науч. конф. “Актуальные проблемы физики твердого тела ФТТ-2009”, 20—23 октября 2009 г., Минск, ЧПТУП “ЮВА”, 3 (2009) 169—170

4. В. А. Александров. ЖТФ, 79 , № 3 (2009) 84—88

5. И. В. Жихарев, А. А. Тихий, Б. В. Беляев, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко. Вісн. Східноукр. нац. ун-ту ім. В. Даля, 150 , № 8, Ч. 2 (2010) 60—63

6. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, Ю. Ф. Ревенко, И. Ю. Решидова, И. В. Жихарев. Физика низких температур, 40 , № 8 (2014) 968—974

7. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (2010) 115—119 [ Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189—1192]

8. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119 , № 2 (2015) 282—286 [ A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119 , N 2 (2015) 268—272]

9. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, А. С. Корнеевец, И. В. Жихарев. ФТП, 52 , № 3 (2018) 337—341

10. Z. M. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13—41

11. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Piqué, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, D. B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (1999) 6451—6461

Источник

Информация

Автор

Тихий А. А. Луганский национальный университет им. Т. Шевченко
Николаенко Ю. М. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Корнеевец А. С. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Свиридова Е. А. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Жихарева Ю. И. Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко
Жихарев И. В. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина

Страницы

942-946

Год издания

2019

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии