%0 article
%A Тихий А. А., 
%A Николаенко Ю. М., 
%A Корнеевец А. С., 
%A Свиридова Е. А., 
%A Жихарева Ю. И., 
%A Жихарев И. В., 
%T МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ
%D 2019
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.
%U https://www.academjournals.by/publication/16055