TY  - JOUR
T1  - МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Тихий А. А., 
AU  - Николаенко Ю. М., 
AU  - Корнеевец А. С., 
AU  - Свиридова Е. А., 
AU  - Жихарева Ю. И., 
AU  - Жихарев И. В., 
Y1  - 2020-03-17
UR  - https://www.academjournals.by/publication/16055
N2  - Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.