@article{Тихий А. А.2020-03-17,
author = { Тихий А. А.,  Николаенко Ю. М.,  Корнеевец А. С.,  Свиридова Е. А.,  Жихарева Ю. И.,  Жихарев И. В.},
title = {МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ},
year = {2019},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/16055},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/16009},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}