RT - article
SR - Electronic
T1 - МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕХОДНЫХ СЛОЕВ НА ГРАНИЦАХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЯХ
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2020-03-17
A1 - Тихий А. А., 
A1 - Николаенко Ю. М., 
A1 - Корнеевец А. С., 
A1 - Свиридова Е. А., 
A1 - Жихарева Ю. И., 
A1 - Жихарев И. В., 
YR - 2019
UL - https://www.academjournals.by/publication/16055
AB - Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La0.7Sr0.3 MnO3 и In2O3.