Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
2020
Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.
Саверченко В. И., Ходыко Ю. А., Черенда Н. Н. Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана. Доклады Национальной академии наук Беларуси. 2020;64(1):111-115. https://doi.org/10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
Цитирование
Список литературы