@article{Саверченко В. И.2020-03-20, author = { Саверченко В. И., Ходыко Ю. А., Черенда Н. Н.}, title = {Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана}, year = {2020}, doi = {10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.}, URL = {https://www.academjournals.by/publication/2486}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/2484}, journal = {Доклады Национальной академии наук Беларуси}, }