%0 article
%A Саверченко В. И., 
%A Ходыко Ю. А., 
%A Черенда Н. Н., 
%T Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
%D 2020
%R 10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
%J Доклады Национальной академии наук Беларуси
%X Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.
%U https://www.academjournals.by/publication/2486