RT - article
SR - Electronic
T1 - Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
JF - Доклады Национальной академии наук Беларуси
SP - 2020-03-20
DO - 10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
A1 - Саверченко В. И., 
A1 - Ходыко Ю. А., 
A1 - Черенда Н. Н., 
YR - 2020
UL - https://www.academjournals.by/publication/2486
AB - Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.