TY  - JOUR
T1  - Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
JF  - Доклады Национальной академии наук Беларуси
DO  - 10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
AU  - Саверченко В. И., 
AU  - Ходыко Ю. А., 
AU  - Черенда Н. Н., 
Y1  - 2020-03-20
UR  - https://www.academjournals.by/publication/2486
N2  - Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.