PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Саверченко В. И., 
AU - Ходыко Ю. А., 
AU - Черенда Н. Н., 
TI - Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
DP - 2020-03-20
TA - Доклады Национальной академии наук Беларуси
4100 - 10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
SO - https://www.academjournals.by/publication/2486
AB - Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.