17 Саверченко В. И. Ходыко Ю. А. Черенда Н. Н. Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана карбид кремния распылительный пиролиз аэрозольный реактор термофорез 2020 2020-03-20 10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115 Доклады Национальной академии наук Беларуси Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм. https://www.academjournals.by/publication/2486 https://www.academjournals.by/files/2484