КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
2014
Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.
КОМАРОВ Ф. Ф., КЛИМОВИЧ И. М., ЗАЙКОВ В. А., ПИЛЬКО В. В. КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Доклады Национальной академии наук Беларуси. 2014;58(5):40-43.
Цитирование
Список литературы