17 КОМАРОВ Ф. Ф. КЛИМОВИЧ И. М. ЗАЙКОВ В. А. ПИЛЬКО В. В. 2014 2016-06-10 Доклады Национальной академии наук Беларуси Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава. https://www.academjournals.by/publication/3184 https://www.academjournals.by/files/3166