PT - JOURNAL ARTICLE
AU - КОМАРОВ Ф. Ф., 
AU - КЛИМОВИЧ И. М., 
AU - ЗАЙКОВ В. А., 
AU - ПИЛЬКО В. В., 
TI - КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
DP - 2016-06-10
TA - Доклады Национальной академии наук Беларуси
SO - https://www.academjournals.by/publication/3184
AB - Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.