TY  - JOUR
T1  - КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
JF  - Доклады Национальной академии наук Беларуси
AU  - КОМАРОВ Ф. Ф., 
AU  - КЛИМОВИЧ И. М., 
AU  - ЗАЙКОВ В. А., 
AU  - ПИЛЬКО В. В., 
Y1  - 2016-06-10
UR  - https://www.academjournals.by/publication/3184
N2  - Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.