%0 article
%A КОМАРОВ Ф. Ф., 
%A КЛИМОВИЧ И. М., 
%A ЗАЙКОВ В. А., 
%A ПИЛЬКО В. В., 
%T КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
%D 2014
%J Доклады Национальной академии наук Беларуси
%X Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.
%U https://www.academjournals.by/publication/3184