@article{КОМАРОВ Ф. Ф.2016-06-10, author = { КОМАРОВ Ф. Ф., КЛИМОВИЧ И. М., ЗАЙКОВ В. А., ПИЛЬКО В. В.}, title = {КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ}, year = {2014}, publisher = {NP «NEICON»}, abstract = {Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.}, URL = {https://www.academjournals.by/publication/3184}, eprint = {https://www.academjournals.by/files/3166}, journal = {Доклады Национальной академии наук Беларуси}, }