Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакууме

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Дробуш В. С., Кузьмицкая А. С.
2026

Представлены результаты комплексного исследования  тонких пленок оксида циркония (ZrО2), осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 79 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомносиловой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZrО2/Si.

Босак Н. А., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Дробуш В. С., Кузьмицкая А. С. Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакууме. Журнал прикладной спектроскопии. 2026;93(5):663-668.
Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Источник