RT - article
SR - Electronic
T1 - Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакууме
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2026-09-28
A1 - Босак Н. А., 
A1 - Чумаков А. Н., 
A1 - Баран Л. В., 
A1 - Малютина-Бронская В. В., 
A1 - Дробуш В. С., 
A1 - Кузьмицкая А. С., 
YR - 2026
UL - https://www.academjournals.by/publication/21241
AB - Представлены результаты комплексного исследования  тонких пленок оксида циркония (ZrО2), осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 79 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомносиловой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZrО2/Si.