%0 article
%A Босак Н. А., 
%A Чумаков А. Н., 
%A Баран Л. В., 
%A Малютина-Бронская В. В., 
%A Дробуш В. С., 
%A Кузьмицкая А. С., 
%T Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакууме
%D 2026
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Представлены результаты комплексного исследования  тонких пленок оксида циркония (ZrО2), осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 79 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомносиловой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZrО2/Si.
%U https://www.academjournals.by/publication/21241