Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства полученных методом лазерного осаждения пленок оксида цинка, легированного кобальтом
2025
Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида цинка ZnO+15%Co, осажденных в вакууме (p = 2.2 ⋅10–2 мм рт. ст.) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ∼ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень с плотностью мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZnO+15%Co/Si.
Босак Н. А., Пашаян С. Т., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Дробуш В. С., Кузьмицкая А. С. Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства полученных методом лазерного осаждения пленок оксида цинка, легированного кобальтом. Журнал прикладной спектроскопии. 2025;92(6):740-746.
Цитирование
Список литературы