Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства полученных методом лазерного осаждения пленок оксида лантана, легированного эрбием
2026
Исследованы тонкие пленки оксида лантана, легированные эрбием LaMnO3+0.5%Er2O3, осажденные в вакууме (p = 3 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном f ∼ 12—15 кГц лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучены морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, спектры пропускания и отражения. Проведен анализ электрофизических свойств структуры LaMnO3+0.5%Er2O3.
Босак Н. А., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Бука А. В., Колонтаева Т. В., Шевченок А. А., Кузьмицкая А. С. Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства полученных методом лазерного осаждения пленок оксида лантана, легированного эрбием. Журнал прикладной спектроскопии. 2026;93(3):370-376.
Цитирование
Список литературы