@article{Босак Н. А.2026-09-28,
author = { Босак Н. А.,  Чумаков А. Н.,  Баран Л. В.,  Малютина-Бронская В. В.,  Дробуш В. С.,  Кузьмицкая А. С.},
title = {Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида циркония, полученных методом лазерного осаждения в вакууме},
year = {2026},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Представлены результаты комплексного исследования  тонких пленок оксида циркония (ZrО2), осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 79 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомносиловой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZrО2/Si.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/21241},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/21088},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}