Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb2O5

Босак Н. А., Шпак П. В., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Дробуш В. С., Кузьмицкая А. С.
2025

Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида ниобия Nb2O5, осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры Nb2O5/Si.

Босак Н. А., Шпак П. В., Чумаков А. Н., Баран Л. В., Малютина-Бронская В. В., Дробуш В. С., Кузьмицкая А. С. Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb2O5. Журнал прикладной спектроскопии. 2025;92(4):462-468.
Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Источник