%0 article
%A Босак Н. А., 
%A Шпак П. В., 
%A Чумаков А. Н., 
%A Баран Л. В., 
%A Малютина-Бронская В. В., 
%A Дробуш В. С., 
%A Кузьмицкая А. С., 
%T Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>
%D 2025
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида ниобия Nb2O5, осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры Nb2O5/Si.
%U https://www.academjournals.by/publication/19762