TY  - JOUR
T1  - Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Босак Н. А., 
AU  - Шпак П. В., 
AU  - Чумаков А. Н., 
AU  - Баран Л. В., 
AU  - Малютина-Бронская В. В., 
AU  - Дробуш В. С., 
AU  - Кузьмицкая А. С., 
Y1  - 2025-09-07
UR  - https://www.academjournals.by/publication/19762
N2  - Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида ниобия Nb2O5, осажденных в вакууме (p = 2.2 Па) на кварцевую и кремниевую подложки при многоимпульсном высокочастотном (f ~ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень при плотности мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры Nb2O5/Si.