АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ

Степанов А. Л.; Воробьев В. В.; Нуждин В. И.; Валеев В. Ф.; Осин Ю. Н.

АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ

Степанов А. Л., Воробьев В. В., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Осин Ю. Н.

2017

Проведены исследования оптического отражения поверхности Si, имплантированного ионами Ag+ при низкой энергии 30 кэВ в широком интервале доз 5.0 · 1014-1.5 · 1017 ион/см2, параллельно с электронными микроскопическими наблюдениями образцов. Установлено, что с ростом ионной дозы облучения монотонно снижается интенсивность отражения в УФ области спектра Si. Это вызвано аморфизацией и макроструктурированием его приповерхностного слоя. В длинноволновой области отражения регистрируется селективная полоса с максимумом вблизи 830 нм, обусловленная проявлением плазмонного резонанса ионно-синтезированных наночастиц Ag.

Степанов А. Л., Воробьев В. В., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Осин Ю. Н. АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ. Журнал прикладной спектроскопии. 2017;84(5):726-730.

Цитирование

Список литературы

1. H. Atwater, A. Polman. Nature Mat., 9 (2010) 205-213

2. A. Polman, M. Knight, E. C. Garnett, B. Ehrler, W. C. Sinke. Science, 352 (2016) 307-1-307-13

3. U. Kreibig, M. Volmer. Optical Properties of Metal Clusters, Berlin, Springer (1995)

4. А. Л. Степанов. Фотонные среды с наночастицами, синтезированные ионной имплантацией, Саарбрюккен, Lambert Acad. Publ. (2014)

5. C. Rockstuhl, S. Fahr, F. Lederer. J. Appl. Phys., 104 (2008) 123102-1-123102-7

6. R. A. Ganeev, A. I. Ryasnyansky, A. L. Stepanov, T. Usmanov. Phys. Status Solidi, B, 238 (2003) R5-R7

7. А. Л. Степанов, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, Ю. Н. Осин. Способ изготовления пористого кремния, патент РФ № 2577515 (2015)

8. A. L. Stepanov, V. I. Nuzhdin, V. F. Valeev, V. V. Vorobev, T. S. Kavetskyy, Y. N. Osin. Rev. Adv. Mater. Sci., 40 (2015) 155-164

9. В. В. Базаров, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, В. В. Воробьев, Ю. Н. Осин, А. Л. Степанов. Журн. прикл. спектр., 83 (2016) 55-59

10. E. Czarnecka-Such, A. Kisiel. Sur. Sci., 193 (1988) 221-234

11. H. W. Seo, Q. Y. Chen, I. A. Rusakova, Z. H. Zhang, D. Wijesundera, S. W. Yeh, X. M. Wang, L. W. Tu, N. J. Ho, Y. G. Wu, H. X. Zhang, W. K. Chu. Nucl. Instrum. Method. Phys. Res. B, 292 (2012) 50-54

12. J. R. Chelikowsky, M. L. Cohen. Phys. Rev. B, 14 (1976) 556-582

13. S. Kurtin, G. A. Shifrin, T. C. McGill. Appl. Phys. Lett., 14 (1969) 223-225

14. А. Н. Магунов, О. В. Лукин. Микроэлектроника, 25 (1996) 97-111

15. A. Borghesi, G. Guizzetti, L. Nosenzo, S. U. Campisano. Solid Sate Phenom., 1 (1988) 1-9

16. D. E. Hole, A. L. Stepanov, P. D. Townsend. Nucl. Instrum. Method. Phys. Res. B, 148 (1999) 1054-1058

17. А. Л. Степанов. ЖТФ, 74 (2004) 1-9

18. M. S. Dhoubhadel, B. Rout, W. J. Lakshantha, S. K. Das, F. D’Souza, G. A. Glass, F. D. McDaniel. AIP Conf. Proc., 1607 (2014) 16-23

19. А. Л. Степанов, В. И. Жихарев, И. Б. Хайбуллин. ФТТ, 43 (2001) 733-739

20. Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, H. Yugami. Appl. Phys. Lett., 78 (2001) 142-143

21. X. Liu, P. R. Coxon, M. Peters, B. Hoex, J. M. Cole, D. J. Fray. Energy Environ. Sci., 7 (2014) 3223-3229

Источник

Информация

Автор

Степанов А. Л. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского Казанского научного центра Российской АН; Казанский (Приволжский) федеральный университет
Воробьев В. В. Казанский (Приволжский) федеральный университет
Нуждин В. И. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского Казанского научного центра Российской АН
Валеев В. Ф. Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского Казанского научного центра Российской АН
Осин Ю. Н. Казанский (Приволжский) федеральный университет

Страницы

726-730

Год издания

2017

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии