@article{Степанов А. Л.2025-03-12,
author = { Степанов А. Л.,  Воробьев В. В.,  Нуждин В. И.,  Валеев В. Ф.,  Осин Ю. Н.},
title = {АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ},
year = {2017},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Проведены исследования оптического отражения поверхности Si, имплантированного ионами Ag+ при низкой энергии 30 кэВ в широком интервале доз 5.0 · 1014-1.5 · 1017 ион/см2, параллельно с электронными микроскопическими наблюдениями образцов. Установлено, что с ростом ионной дозы облучения монотонно снижается интенсивность отражения в УФ области спектра Si. Это вызвано аморфизацией и макроструктурированием его приповерхностного слоя. В длинноволновой области отражения регистрируется селективная полоса с максимумом вблизи 830 нм, обусловленная проявлением плазмонного резонанса ионно-синтезированных наночастиц Ag.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/16468},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/16422},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}