PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Степанов А. Л., 
AU - Воробьев В. В., 
AU - Нуждин В. И., 
AU - Валеев В. Ф., 
AU - Осин Ю. Н., 
TI - АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ
DP - 2025-03-12
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/16468
AB - Проведены исследования оптического отражения поверхности Si, имплантированного ионами Ag+ при низкой энергии 30 кэВ в широком интервале доз 5.0 · 1014-1.5 · 1017 ион/см2, параллельно с электронными микроскопическими наблюдениями образцов. Установлено, что с ростом ионной дозы облучения монотонно снижается интенсивность отражения в УФ области спектра Si. Это вызвано аморфизацией и макроструктурированием его приповерхностного слоя. В длинноволновой области отражения регистрируется селективная полоса с максимумом вблизи 830 нм, обусловленная проявлением плазмонного резонанса ионно-синтезированных наночастиц Ag.