%0 article
%A Степанов А. Л., 
%A Воробьев В. В., 
%A Нуждин В. И., 
%A Валеев В. Ф., 
%A Осин Ю. Н., 
%T АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, ПО СПЕКТРАМ ОПТИЧЕСКОГО ОТРАЖЕНИЯ
%D 2017
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Проведены исследования оптического отражения поверхности Si, имплантированного ионами Ag+ при низкой энергии 30 кэВ в широком интервале доз 5.0 · 1014-1.5 · 1017 ион/см2, параллельно с электронными микроскопическими наблюдениями образцов. Установлено, что с ростом ионной дозы облучения монотонно снижается интенсивность отражения в УФ области спектра Si. Это вызвано аморфизацией и макроструктурированием его приповерхностного слоя. В длинноволновой области отражения регистрируется селективная полоса с максимумом вблизи 830 нм, обусловленная проявлением плазмонного резонанса ионно-синтезированных наночастиц Ag.
%U https://www.academjournals.by/publication/16468