Оптические характеристики приповерхностного слоя рутила, имплантированного ионами кобальта
2023
Методом спектроскопии отражения и пропускания света в видимой области спектра исследована монокристаллическая пластина рутила (TiO2), имплантированная ионами кобальта дозой 1.25 ∙ 1017 ион/см2 с энергией 40 кэВ при постоянной плотности тока в ионном пучке 2 мкА/см2 и температуре облучаемой подложки 620 °С. Получены спектральные зависимости оптических параметров модифицированного слоя. Рассчитана оптическая щель Тауца слоя 0.2—0.3 эВ.
Базаров В. В., Бегишев Е. М., Валеев В. Ф., Нуждин В. И., Хайбуллин Р. И. Оптические характеристики приповерхностного слоя рутила, имплантированного ионами кобальта. Журнал прикладной спектроскопии. 2023;90(4):648-650.
Цитирование
Список литературы