УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>

Тихий А. А.; Николаенко Ю. М.; Грицких В. А.; Свиридова Е. А.; Мурга В. В.; Жихарева Ю. И.; Жихарев И. В.

УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In₂O₃

Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Грицких В. А., Свиридова Е. А., Мурга В. В., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В.

2018

Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In2O3 на подложках Al2O3 (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала.

Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Грицких В. А., Свиридова Е. А., Мурга В. В., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В. УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In₂O₃. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):161-167.

Цитирование

Список литературы

1. K. Arshak, K. Twomey. Sensors, 2 (2002) 205-218

2. A. K. Yewale, K. B. Raulkar, A. S. Wadatkar, G. T. Lamdhade. J. Electron Devices, 11 (2011) 544-550

3. D. Мanno, M. Di Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34 (2001) 2097-2102

4. Yu. M. Nikolaenko, A. N. Artemov, Yu. В. Medvedev, N. B. Efros, I. В. Zhikharev, I. Yu. Reshidova, A. A. Tikhii, S. В. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49 (2016) 375302

5. H. G. Tompkins, E. A. Irene. Handbook of Ellipsometry, USA, William Andrew Publishing (2005) 829-847

6. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Ю. М. Николаенко, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 112 (2012) 329-334 [A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, Yu. M. Nikolaenko, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 112 (2012) 300-304]

7. А. А. Тихий, В. А. Грицких, С. В. Кара-Мурза, Н. В. Корчикова, Ю. М. Николаенко, В. В. Фарапонов, И. В. Жихарев. Опт. и спектр., 119, № 2 (2015) 282-286 [A. A. Tikhii, V. A. Gritskikh, S. V. Kara-Murza, N. V. Korchikova, Yu. M. Nikolaenko, V. V. Faraponov, I. V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 119, N 2 (2015) 268-272]

8. Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий. ЖТФ, 80, (2010) 115-119 [Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 80 (2010) 1189-1192]

9. А. А. Тихий, Ю. М. Николаенко, Ю. И. Жихарева, И. В. Жихарев. Журн. прикл. спектр., 83, № 3 (2016) 488-491 [A. A. Tikhii, Yu. M. Nikolaenko, Yu. I. Zhikhareva, I. V. Zhikharev. J. Appl. Spectr., 83 (2016) 478-480]

10. D. Lehmann, F. Seidel, D. R. T. Zahn. SpringerPlus, 3 (2014) 82

11. В. И. Пшеницын, М. И. Абаев, Н. Ю. Лызлов. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Ленинград, Химия (1986) 71, 73

12. А. В. Ржанов. Эллипсометрия: теория, методы, приложения, Новосибирск, Наука (1987) 158-161

13. S. D’Elia, N. Scaramuzza, F. Ciuchi, C. Versace, G. Strangi, R. Bartolino. Appl. Surface Sci., 255 (2009) 7203-7211

14. A. Sytchkova, D. Zola, L. R. Bailey, B. Mackenzie, G. Proudfoot, M. Tian, A. Ulyashin. Mater. Sci. Eng. B, 178, N 9 (2013) 586-592

15. A. Rogozin, M. Vinnichenko, N. Shevchenko, L. Vazquez, A. Mücklich, U. Kreissig, R. A. Yankov, A. Kolitsch, W. Möller. J. Мater. Res., 22, N 8 (2007) 2319-2329

16. M. Z. Jarzebski. Phys. Status Solidi (a), 71 (1982) 13-41

17. J. A. Thornton. J. Vac. Sci. Technol. A, 4 (1986) 3059-3065

18. M. Polyansky. Refractive Index. INFO - Refractive Index Database (2016), http://refractiveindex.info (accessed Aug 11, 2017)

Источник

Информация

Автор

Тихий А. А. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Николаенко Ю. М. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Грицких В. А. Луганский национальный университет имени Т. Шевченко
Свиридова Е. А. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина
Мурга В. В. Донбасский государственный технический университет
Жихарева Ю. И. Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко
Жихарев И. В. Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина

Страницы

161-167

Год издания

2018

Ключевые слова

Коллекции

Журнал прикладной спектроскопии

УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In2O3

Похожие публикации

Источник

Информация

УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In₂O₃