Ссылка для цитирования по Vancouver
Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Грицких В. А., Свиридова Е. А., Мурга В. В., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В. УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In2O3. Журнал прикладной спектроскопии. 2018;85(1):161-167.