PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Тихий А. А., 
AU - Николаенко Ю. М., 
AU - Грицких В. А., 
AU - Свиридова Е. А., 
AU - Мурга В. В., 
AU - Жихарева Ю. И., 
AU - Жихарев И. В., 
TI - УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>
DP - 2025-03-12
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/16187
AB - Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In2O3 на подложках Al2O3 (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала.