@article{Тихий А. А.2025-03-12,
author = { Тихий А. А.,  Николаенко Ю. М.,  Грицких В. А.,  Свиридова Е. А.,  Мурга В. В.,  Жихарева Ю. И.,  Жихарев И. В.},
title = {УЧЕТ СЛОЖНОЙ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА РОСТ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>},
year = {2018},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Практически показана эффективность привлечения дополнительной информации о величине оптического пропускания при решении обратной задачи эллипсометрии минимизационным методом для допированных и недопированных оловом пленок In2O3 на подложках Al2O3 (012). Этот подход позволяет однозначно определять толщину и показатель преломления тонких пленок с шероховатой поверхностью. Проведено сравнение результатов решения обратной задачи в рамках одно-, двух- и многослойной моделей, при этом последняя позволяет наилучшим образом описать экспериментальные данные и получить корректные параметры образцов. Зависимости свойств исследуемых пленок, полученных при различных режимах магнетронного напыления, найденные с использованием вышеописанных методов и моделей, не противоречат общим представлениям о формировании пленок данного материала.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/16187},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/16141},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}