Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках
2021
Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.
Тихий А. А., Свиридова Е. А., Жихарева Ю. И., Жихарев И. В. Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(5):743-747.
Цитирование
Список литературы