Изменение толщины и оптических постоянных тонких пленок оксида бора в процессе их нагрева на воздухе

Акашев Л. А., Попов Н. А., Шевченко В. Г., Спесивцев Е. В., Резницких О. Г.
2025

Методами одноволновой и спектральной эллипсометрии исследовано изменение толщины и оптических постоянных пленок оксида бора, осажденных на подложки из сапфирового стекла, ситалла и поликристаллического массивного алюминия, непосредственно в процессе их нагрева на воздухе в интервале температур 24—700 °С. Продемонстрирована высокая гигроскопичность пленок, которая уменьшается при их предварительном отжиге. Показано, что в исследуемом температурном диапазоне происходит непрерывное уменьшение толщины пленки. В диапазоне температур до 300 °С оно обусловлено процессами дегидратации. При более высоких температурах уменьшение толщины пленки объясняется медленным испарением образующейся в пленке борной кислоты. Показано, что осаждение пленки оксида бора на поверхность алюминия не влияет на скорость его окисления.

Акашев Л. А., Попов Н. А., Шевченко В. Г., Спесивцев Е. В., Резницких О. Г. Изменение толщины и оптических постоянных тонких пленок оксида бора в процессе их нагрева на воздухе. Журнал прикладной спектроскопии. 2025;92(3):318-325.
Цитирование

Список литературы

Похожие публикации

Источник