PT - JOURNAL ARTICLE
AU - Акашев Л. А., 
AU - Попов Н. А., 
AU - Шевченко В. Г., 
AU - Спесивцев Е. В., 
AU - Резницких О. Г., 
TI - Изменение толщины и оптических постоянных тонких пленок оксида бора в процессе их нагрева на воздухе
DP - 2025-05-20
TA - Журнал прикладной спектроскопии
SO - https://www.academjournals.by/publication/19412
AB - Методами одноволновой и спектральной эллипсометрии исследовано изменение толщины и оптических постоянных пленок оксида бора, осажденных на подложки из сапфирового стекла, ситалла и поликристаллического массивного алюминия, непосредственно в процессе их нагрева на воздухе в интервале температур 24—700 °С. Продемонстрирована высокая гигроскопичность пленок, которая уменьшается при их предварительном отжиге. Показано, что в исследуемом температурном диапазоне происходит непрерывное уменьшение толщины пленки. В диапазоне температур до 300 °С оно обусловлено процессами дегидратации. При более высоких температурах уменьшение толщины пленки объясняется медленным испарением образующейся в пленке борной кислоты. Показано, что осаждение пленки оксида бора на поверхность алюминия не влияет на скорость его окисления.