17 Акашев Л. А. Попов Н. А. Шевченко В. Г. Спесивцев Е. В. Резницких О. Г. эллипсометрия пленка оксида бора пленка оксида алюминия термическое испарение дегидратация 2025 2025-05-20 Журнал прикладной спектроскопии Методами одноволновой и спектральной эллипсометрии исследовано изменение толщины и оптических постоянных пленок оксида бора, осажденных на подложки из сапфирового стекла, ситалла и поликристаллического массивного алюминия, непосредственно в процессе их нагрева на воздухе в интервале температур 24—700 °С. Продемонстрирована высокая гигроскопичность пленок, которая уменьшается при их предварительном отжиге. Показано, что в исследуемом температурном диапазоне происходит непрерывное уменьшение толщины пленки. В диапазоне температур до 300 °С оно обусловлено процессами дегидратации. При более высоких температурах уменьшение толщины пленки объясняется медленным испарением образующейся в пленке борной кислоты. Показано, что осаждение пленки оксида бора на поверхность алюминия не влияет на скорость его окисления. https://www.academjournals.by/publication/19412 https://www.academjournals.by/files/19353