@article{Акашев Л. А.2025-05-20,
author = { Акашев Л. А.,  Попов Н. А.,  Шевченко В. Г.,  Спесивцев Е. В.,  Резницких О. Г.},
title = {Изменение толщины и оптических постоянных тонких пленок оксида бора в процессе их нагрева на воздухе},
year = {2025},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Методами одноволновой и спектральной эллипсометрии исследовано изменение толщины и оптических постоянных пленок оксида бора, осажденных на подложки из сапфирового стекла, ситалла и поликристаллического массивного алюминия, непосредственно в процессе их нагрева на воздухе в интервале температур 24—700 °С. Продемонстрирована высокая гигроскопичность пленок, которая уменьшается при их предварительном отжиге. Показано, что в исследуемом температурном диапазоне происходит непрерывное уменьшение толщины пленки. В диапазоне температур до 300 °С оно обусловлено процессами дегидратации. При более высоких температурах уменьшение толщины пленки объясняется медленным испарением образующейся в пленке борной кислоты. Показано, что осаждение пленки оксида бора на поверхность алюминия не влияет на скорость его окисления.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/19412},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/19353},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}