17 Тихий А. А. Свиридова Е. А. Жихарева Ю. И. Жихарев И. В. оксид индия тонкая пленка эллипсометрия оптическое пропускание рентгеноструктурный анализ 2021 2021-10-10 Журнал прикладной спектроскопии Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. https://www.academjournals.by/publication/15761 https://www.academjournals.by/files/15717