@article{Тихий А. А.2021-10-10,
author = { Тихий А. А.,  Свиридова Е. А.,  Жихарева Ю. И.,  Жихарев И. В.},
title = {Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках},
year = {2021},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15761},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15717},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}