TY  - JOUR
T1  - Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Тихий А. А., 
AU  - Свиридова Е. А., 
AU  - Жихарева Ю. И., 
AU  - Жихарев И. В., 
Y1  - 2021-10-10
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15761
N2  - Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.