RT - article
SR - Electronic
T1 - Оптические и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2021-10-10
A1 - Тихий А. А., 
A1 - Свиридова Е. А., 
A1 - Жихарева Ю. И., 
A1 - Жихарев И. В., 
YR - 2021
UL - https://www.academjournals.by/publication/15761
AB - Представлены результаты эллипсометрических, рентгеноструктурных и спектральных исследований пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). Интерпретация данных проведена в рамках трехслойной модели пленки. Предположено, что в начале напыления на поверхности подложки формируются крупные частицы материала, затем размер кристаллитов становится меньше и они заполняют промежутки между более крупными частицами, после чего процесс формирования пленки переходит в стационарный режим. На границе раздела между пленкой и подложкой установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 эВ, показателем преломления ~3 и толщиной 25 нм. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.