Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца
2021
Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.
Zhong M., Li J. H., Li B., Tian C. X., Xiang X., Zhou C., Yang W. F. Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца. Журнал прикладной спектроскопии. 2021;88(2):197-201.
Цитирование
