%0 article
%A Zhong M. , 
%A Li J. H., 
%A Li B. , 
%A Tian C. X., 
%A Xiang X. , 
%A Zhou C. , 
%A Yang W. F., 
%T Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца
%D 2021
%J Журнал прикладной спектроскопии
%X Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.
%U https://www.academjournals.by/publication/15695