RT - article
SR - Electronic
T1 - Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца
JF - Журнал прикладной спектроскопии
SP - 2021-05-28
A1 - Zhong M. , 
A1 - Li J. H., 
A1 - Li B. , 
A1 - Tian C. X., 
A1 - Xiang X. , 
A1 - Zhou C. , 
A1 - Yang W. F., 
YR - 2021
UL - https://www.academjournals.by/publication/15695
AB - Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.