TY  - JOUR
T1  - Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца
JF  - Журнал прикладной спектроскопии
AU  - Zhong M., 
AU  - Li J. H., 
AU  - Li B., 
AU  - Tian C. X., 
AU  - Xiang X., 
AU  - Zhou C., 
AU  - Yang W. F., 
Y1  - 2021-05-28
UR  - https://www.academjournals.by/publication/15695
N2  - Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.