@article{Zhong M. 2021-05-28,
author = { Zhong M. ,  Li J. H.,  Li B. ,  Tian C. X.,  Xiang X. ,  Zhou C. ,  Yang W. F.},
title = {Влияние ионной имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца},
year = {2021},
publisher = {NP «NEICON»},
abstract = {Высокочистый плавленый кварц имплантирован ионами гелия с энергией 60 кэВ потоком 1.5×1017 см-2. Исследовано влияние имплантации ионов гелия на оптические свойства образцов кремния до и после имплантации гелия с помощью инфракрасной, фотолюминесцентной и УФ-видимой спектрофотометрии. После имплантации ионов гелия результаты рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показывают, что пик Si 2p смещен в сторону более высокой энергии. Наблюдается полоса фотолюминесценции (ФЛ) на 500 нм, при этом интенсивность ФЛзначительно снижается. Однако интенсивности ИК-излучения и оптического поглощения значительно увеличиваются при имплантации ионов. Обсуждается механизм влияния имплантации гелия на оптические свойства плавленого кварца.},
URL = {https://www.academjournals.by/publication/15695},
eprint = {https://www.academjournals.by/files/15651},
journal = {Журнал прикладной спектроскопии},
}